製品情報 【半導体】 研究用基板
単結晶基板
基本仕様 |
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特殊方位 |
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高品質基板 |
X線ロッキングカーブ半値幅(FWHM)を一定以下に指定できます。 例えば、50や30arcsec以下に規定することができます。 |

モザイク結晶基板
- 10x10mm単結晶を2~9個の単結晶を接続して製作します。
- 各単結晶は(100)面のみとなります。
- サイズ:1辺<30mm、厚さ:0.03~3mm の範囲内で製作します。


エピ成長基板
1.Bドープエピ基板
- B濃度:
- 2~10×1016/cm3
- 厚さ:
- 0.5~10µm
- 移動度:
- 1500cm2/Vs以上
2.高純度エピ層付基板
- N濃度:
- <1ppm
- 厚さ:
- 10~100µm
- その他:
- モザイク基板も使用可、30µm以上の厚さなら表面の研磨も可能
お客様のご希望に幅広く対応
お問い合わせの際はご希望の仕様をご指定ください。
アイテム | サイズ(mm) | 備考 |
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RH333Pf2 | 3×3×0.3 | オフアングル2°付基板 |
RH555PP | 5×5×0.5 | 両面研磨 |
RH333KPP | 3×3×0.3 | (111)面、両面研磨 |
RH25255PV | 25×25×0.5 | モザイク基板、片面研磨 |
お問い合わせ
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